ظهور و توسعه سریع لیزرهای پالس فوقالعاده با شدت بالا، شرایط فیزیکی بیسابقه و ابزارهای آزمایشی کاملاً جدیدی را برای انسانها فراهم کرده است و به آخرین مرز علم و فناوری لیزر بینالمللی و همچنین کانون رقابت تبدیل شده است. . توری فشرده سازی پالس جزء اصلی دستگاه لیزر فوق کوتاه با شدت فوق العاده بالا است و دیافراگم توری حد بالایی توان خروجی لیزر را تعیین می کند. توسعه داخلی و خارجی قرار گرفتن در معرض اسکن پرتو ریز، قرار گرفتن در معرض میدان تداخل استاتیک، قرار گرفتن در معرض قرار گرفتن در معرض و خط زدن مکانیکی و سایر روشها، قابلیت آمادهسازی گریتینگ در مقیاس متری دو طرفه را ندارند.
شکل 1 نتایج خطای فرکانس کامل سیستم نوردهی آینه سهموی خارج از محور Φ300: (الف) خطای شکل سطح فرکانس پایین آینه خارج از محور که توسط تداخل سنج Zygo 4- اینچ اندازه گیری می شود. (ب) تصاویر خطای فرکانس میانی و توزیع میدان نوری که پس از فیلتر کردن طبق مدل به دست آمده است. (ج) خطای فرکانس بالا با استفاده از پروفیل نور سفید Zygo با لنز 20x و عکسی از ماسک توری اندازهگیری شده توسط میکروسکوپ به دست میآید. (د) منحنی چگالی طیفی توان 1 بعدی.
موسسه ماشینهای نوری شانگهای (SIOM) طرحی نوآورانه برای ساخت توریهای فشاری پالسی در مقیاس متر با استفاده از یک سیستم نوردهی بازتابنده خارج از محور با قطر بزرگ پیشنهاد کرده است. هسته اصلی این برنامه استفاده از آینه های سهموی خارج از محور با دقت بالا برای تشکیل دو پرتو موازی نور برای ایجاد یک میدان نوری یکنواخت در مقیاس بزرگ است و یکنواختی میدان نور عمدتاً با خطای سطح خاموش تعیین می شود. آینه های سهموی محور، به ویژه در خطاهای فرکانس متوسط و بالا. به دلیل فقدان یک سیستم ارزیابی کمی خطاهای تولید در یکنواختی میدان نور و فرآیند ماشینکاری با دقت بالا با همگرایی ثابت خطاها در محدوده فرکانس، هنوز هیچ سابقه موفقی وجود ندارد.
بر اساس تئوری پراش میدان نور آزاد، این تیم یک مدل نقشه برداری بین خطای باند فرکانس روی سطح آینه های سهموی خارج از محور در معرض انعکاس و همگنی میدان نور تابش ایجاد کرده و یک سیستم شاخص کمی برای فرکانس ایجاد کرده است. خطای باند شکل سطح آینه، و سپس یک فناوری پردازش نوآورانه برای همگرایی یکپارچه خطای باند فرکانس کامل آینه نوردهی ارائه میکند. با توجه به سیستم ارزیابی شاخص تعیین شده توسط مدل، خطاهای فرکانس متوسط و بالا آینه های نوردهی باید به ترتیب بهتر از 0.65 و {7}}.5 نانومتر باشد و بنابراین، یک سیستم نوردهی انعکاسی خارج از محور Φ300 میلیمتری با استفاده از فناوری پردازش فوق ساخته شد. در این سیستم، RMS آینه به 0.586 نانومتر و 0.462 نانومتر سرکوب شد و خطای تناوبی و خطای نوار معمولی کاملاً حذف شد. در نهایت، یک توری پراش فیلم دی الکتریک چند لایه (MLD) با اندازه 200 میلی متر × 150 میلی متر با استفاده از این سیستم نوردهی با موفقیت ساخته شد، با راندمان پراش متوسط 98.1٪ در سطح -1 و PV جلو موج پراش بهتر است. بیش از 0.3 طول موج
این تحقیق برای ساخت گریتینگ پراش دیافراگم بزرگ، راه جدیدی را برای توسعه بعدی دستگاه لیزر پرقدرت 100 پت وات مورد نیاز برای گریتینگ فشاری پالس در سطح متر برای پی ریزی پایه فنی ارائه می دهد.
شکل 2 جبهه موج پراش و توزیع بازده 200mm×150mm گریت MLD: (الف) جبهه موج پراش سطح -1. (ب) جبهه موج پراش سطح 0-. (ج) جبهه موج پراش سطح +1-. (د) راندمان پراش گریتینگ MLD در 1740 لیتر بر میلیمتر، با راندمان پراش یکنواخت در دیافراگم موثر در 1053 نانومتر (Ave=98.1%, σ=0.3%, Max {{ 12}}.6٪. (ه) یک تصویر فیزیکی از گریتینگ MLD با استفاده از روش نوردهی بازتابی.
