همانطور که همه ما می دانیم، تنها یک تولید کننده در جهان وجود دارد که می تواند لیتوگرافی EUV را تولید کند، آن ASML هلند است.
و دلیل اینکه تنها در جهان است، این است که ASML بسیاری از تولیدکنندگان کلیدی در کنار هم خواهند بود، مانند شرکت اپتیک آلمانی Zeiss (Zeiss)، و سپس ایالات متحده Cymer، و سپس گروه آلمانی Tom Fast (TRUMPF). ) و غیره.
ASML این تولیدکنندگان را از طریق سرمایه گذاری، تملک، سهامداری، تأسیس مراکز تحقیقاتی و غیره به ارابه خود گره زده است و این تولیدکنندگان احتمالا تنها تولیدکنندگانی در جهان هستند که می توانند این محصولات را تولید کنند، بنابراین در نهایت فقط ASML قادر به تولید لیتوگرافی EUV است. در جهان.
با این حال، اخیراً، یک زنجیره تامین کلیدی ASML، برای ساخت یک کارخانه به شنژن، چین رفت و شعبه آن در شنژن در پارک نمایش صنعتی Baoan چین و آلمان (اروپا) مستقر شد.
این سازنده، گروه تام فست آلمان (TRUMPF)، لیتوگرافی EUV ASML، تنها تامین کننده منبع لیزر در جهان است.
محصولات TRUMPF در لیتوگرافی EUV چقدر مهم است؟ ابتدا اجازه دهید اصل لیتوگرافی EUV را توضیح دهم، متوجه خواهید شد.
اصل لیتوگرافی EUV، به بیان ساده، بر سه سیستم اصلی، سیستم منبع نور UV UV، سیستم عدسی شیئی و سیستم جدول متمرکز است.
فرآیند خاص این است که از لیزر برای برانگیختن طول موج 13.5 نانومتر از نور فرابنفش شدید استفاده می شود و سپس پس از تصحیح یک پرتو کنترل شده از نور تشکیل می شود و سپس این پرتو نور بر روی میز ماسک نوری تابیده می شود و سپس از طریق شی پرتاب می شود. آینه به جدول نوردهی، و در نهایت حک مدار بر روی ویفر سیلیکونی پوشش داده شده با نور مقاوم است.
چگونه یکی از سیستم های منبع نور EUV UV به دست می آید با بمباران یک قطره فلزی قلع (Sn) با لیزر CO2 توان 30 کیلووات، تبخیر آن به پلاسما و در نهایت به دست آوردن نور EUV با طول موج 13.5 نانومتر.
این لیزر 30 کیلوواتی CO2 توسط TRUMPF، تنها در نوع خود در جهان ارائه شده است.
این لیزر CO2 را دست کم نگیرید، دارای 457329 قطعه است، طول کابل در سیستم تا 7322 متر و وزن آن 17090 کیلوگرم است که یکی از مهمترین اجزای اصلی در لیتوگرافی EUV است.
اکنون TRUMPF برای ساخت یک کارخانه به چین دوید، قصد روشن است، یعنی خوشبینانه در مورد بازار لیزر چین، و حتی با دید بلندمدت تر، خوش بینانه در مورد بازار لیتوگرافی چین، آینده ممکن است با چین برای ساخت لیتوگرافی EUV همکاری کند. .
در واقع، در حال حاضر بیش از یک زنجیره تامین ASML در حال اجرا به چین برای ساخت یک کارخانه است، قبل از اینکه KMWE و سایر تولیدکنندگان وجود داشته باشند، همچنین به چین برای ساخت یک کارخانه.
با توجه به روند فعلی، ما می توانیم خوش بینانه انتظار داشته باشیم که ممکن است مدت زیادی طول نکشید که فناوری لیتوگرافی چین گام بزرگی به جلو خواهد بود و حتی حجم خروجی لیتوگرافی EUV نیز می تواند منتظر باشد، فکر می کنید؟
